微型化高精度MEMS光纤压力计
产品型号：ZHYLJ-MFP
ZHYLJ-MFP微型化高精度光纤压力计利用法布里－珀罗（Fabry-Perot，F-P）干涉原理，将压力变化转换为传感器内部F-P压力敏感腔的腔长变化。F-P压力敏感腔由具有一定反射率的两个平行平面组成，光束在其间多次反射构成多光束干涉，在压力作用下，F-P腔长发生相应变化，使入射光被调制。通过解调含有压力信息的光输出信号，就可以获取压力值，也可解算获得被测液体的精确高度。
相比于传统的压力传感器，ZHYLJ-MFP微型化高精度光纤压力计体积微小，抗电磁干扰，电绝缘，耐腐蚀，本质安全。这使它在各种大型机电、石油化工、冶金、高压、强电磁干扰、强腐蚀、易燃易爆环境中能方便而有效地传感。
此外，光纤不仅是敏感元件，而且是一种优良的低损耗传输线，因此几乎不必考虑测量仪和被测物体的相对位置，特别适合于电学方式等传感器不太适用的场合。可以与光纤遥测技术相配合实现远距离测量与控制。ZHYLJ-MFP微型化高精度光纤压力计内部为非接触式光学信号检测方式，具有良好的抗冲击过载能力，故障率极低，后续免维护，可长期精确测量。在安装操作不便、维护困难的应用场合更具显著优势。
ZHYLJ-MFP微型化高精度光纤压力计
应用领域：
Ø 投入式油罐液位测量
Ø 工业领域高精度液体压力测量
Ø 高精度、动态气体压力测量
Ø 发动机脉动压力测量
Ø 井下压力、温度复合测量
技术参数：
参数 | 型号 | ||
ZHYLJ-MFP25 | ZHYLJ-MFP100 | ZHYLJ-MFP600 | |
量程 | 250KPa | 1MPa | 6MPa |
分辨率 | 10Pa | 40Pa | 250Pa |
测量精度 | 0.1%F.S. | 0.1%F.S. | 0.1%F.S. |
光纤传输距离 | 0～10km | ||
工作温度范围 | －60℃～＋85℃（工业级） －200℃～＋200℃（宽温级） | ||
封装方式 | 耐腐蚀合金外壳 | ||
安装方式 | 密封螺纹连接 | ||
传感头引出线 | 1.5米护套光纤 | ||
系统连接组网图：
ZHYLJ-MFP微型化高精度光纤压力计可采用波长信号解调仪进行同步动态采集的系列高精度高速波长信号解调仪，测量通道数1～32个，同步信号采集速率0Hz～10KHz可选），每个通道可用光纤分路器接入1～2只MEMS光纤压力计。以FT910-16波长解调仪为例，可实现对32只MEMS光纤压力计的同步解调，采集速率可达10KHz。
ZHYLJ-MFP微型化高精度光纤压力计组网连接图
附录一：90KPa～1MPa 光纤MEMS法泊（F-P）压力传感器
1.
产品型号及名称
ZHYLJ-MFP09/ ZHYLJ-MFP25/ ZHYLJ-MFP100（90 KPa /250KPa/1MPa），MEMS光纤法泊（F-P）压力传感器
2. 产品图及外形尺寸
产品及尺寸图
3.产品特点
l 基于MEMS工艺加工的光纤F-P压力传感器，充硅油后带不锈钢隔离膜封装，全焊接工艺
l 良好的零点和灵敏度长期稳定性
l 本质安全，不受电磁干扰、抗腐蚀、抗污染、抗雷击能力强
l 可在易燃、易爆、有毒有害等恶劣条件下长期使用
l 传感信号传输距离远，最高可达40km
4.主要指标参数
序号 | 指标名称 | 单位 | 指标参数 |
1 | 测量量程 | MPa | 0.09～1 |
2 | 满量程F·S | nm | 20～40 |
3 | 测量精度 | —— | |
4 | 非线性 | % | 优于±0.1 |
5 | 迟滞性 | % | 优于±0.05 |
6 | 重复性 | % | 优于±0.05 |
7 | 工作温度范围 | ℃ | -40～125 |
8 | 温补范围 | ℃ | 工作温度范围内 |
9 | 补偿后综合精度 | % | |
10 | 相应时间 | ms | ≤5 |
11 | 中心波长 | nm | 1525～1565 |
12 | 分辨率 | — | 0.01%FS |
13 | 测量介质 | — | 与不锈钢316兼容的液体、气体 |
14 | 过压能力 | — | 3倍额定压力、5倍爆破压力或更高 |
15 | 封装方式 | — | 全不锈钢焊接 |
16 | 安装接口 | — | 默认G1/4 |
17 | 出缆方式 | — | Φ6mm铠装光缆带两个连接头FC/APC或定制 |
18 | 典型尺寸 | — | Φ24×65 |
19 | 密封方式 | — | 端面密封 |
附录二：1MPa～10MPa 光纤MEMS法泊（F-P）压力传感器
1.产品型号及名称
ZHYLJ-MFP200/ ZHYLJ-MFP400/ ZHYLJ-MFP600/ ZHYLJ-MFP1000（2MPa/4 MPa/6 MPa/10MPa），MEMS光纤法泊（F-P）压力传感器。
2.产品图及外形尺寸
产品及尺寸图
3.产品特点
l 基于MEMS工艺加工的光纤F-P压力传感器，充硅油后带不锈钢隔离膜封装，全焊接工艺
l 良好的零点和灵敏度长期稳定性
l 本质安全，不受电磁干扰、抗腐蚀、抗污染、抗雷击能力强
l 可在易燃、易爆、有毒有害等恶劣条件下长期使用
l 传感信号传输距离远，最高可达40km.
